等离子研磨机,1975

关于SPI公司：SPI公司(Structure Probe, Inc.)创立于1970年，创立之初以电镜分析服务为主，1975年创立耗材部门，销售电镜专用的试片制作工具及耗材。

该公司产品包括SEM、TEM、SPM甚至Laser Microscope 的耗材，仪器部分包括镀碳镀金机、电浆表面清洁或蚀刻机及电浆镀锇机等。 IV7样品制备系统快速制备高质量的TEM/XTEM样品对于开发新材料或开发样品制备新方法的用户，推荐采用IV7通用离子研磨仪。 IV7具有极高的研磨速度，非常适用于研究难以溅镀的材料，例如金刚石、蓝宝石等。 IV7具有特有的能力，通过低能离子轰击，可以制备无损坏的、无人为干扰的样品，并提供了独特的机会，可以研究合成材料和天然材料的实际纳米结构，用于所有领域的技术和材料科学研究。 IV7 TEM/XTEM样品制备系统低能离子源离子源具有独特的构型，让IV7可以在整个运行范围内均能达到较高的离子束电流密度。 采用极低能的惰性气体离子束，可以确保限度地减少表面损坏和由离子束引起的无定形化。

离子源控制所有的离子枪参数，包括加速电压和离子束电流，均采用数字反馈环路进行自动控制，不过在样品制备过程中仍然可以进行人工变更。 离子源参数的初始数值既可以自动设定，也可以人工设定。

研磨机

自动运行IV7采用全电脑控制和便于使用的图形化界面。

所有的工作参数，包括电极电压、工作气体流、样品移动/倾斜，以及工艺时间和穿孔探测等其它参数，均可以保存或预编程。

IV7的这种全自动特性可以制备高质量的样品，同时将用户的干扰降至最小。 在线监测和支持IV7配有在线技术支持软件，可以通过互联网进行实时错误检测和问题解决。

等离子

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